SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)

【SID4-UV波前分析儀簡介】

隨著光波波前探測技術(shù)的發(fā)展，各種波前傳感器應(yīng)運而生。從測量原理上可以分成兩類：一類是根據(jù)幾何光學(xué)原理，測定波前幾何像差或面型誤差，主要有Shack－Hartmann 波前傳感器，曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等；另一類是基于干涉測量原理，探測波前不同部分的干涉性，來獲取波前信息，主要有剪切干涉儀波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標(biāo)準(zhǔn)鏡;它們結(jié)構(gòu)簡單，抗干擾能力強，條紋穩(wěn)定。SID4-UV波前分析儀是測量光學(xué)元件和光束波前質(zhì)量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法。SID4-UV波前分析儀作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV波前分析儀非常適合于紫外光學(xué)測量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。

【關(guān)于Phasics】

Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術(shù)的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專業(yè)經(jīng)驗與*的波前測量技術(shù)為客戶提供全面的高性能波前傳感器。

一、 SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)主要特點

• 250 x 250超高相位取樣分辨率

• 2 nm RMS高相位靈敏度

• 紫外波段波前測量的通用解決方案

                                非準(zhǔn)直光入射                                                                                                      消色差

二、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀產(chǎn)品應(yīng)用

• 波前像差測量

基于四波剪切技術(shù)，Phasics 的波前傳感器同時提供具有高分辨率的相位和強度測量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合，可提供完整的激光診斷：波前像差、強度分布、激光光束質(zhì)量參數(shù)（M2、束腰尺寸和位置等）。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學(xué)裝置的任何一點，無論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV非常適合于紫外光學(xué)測量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。

• MTF測量

SID4系列波前傳感器可以配合用戶自行搭建的光路系統(tǒng)進(jìn)行像質(zhì)評價，只需一次直接拍攝，就可以通過軟件后處理測量參數(shù)(PSF, MTF, Zernike系數(shù))。如果不能自行搭建光路系統(tǒng)，也可以進(jìn)一步了解Kaleo Kit 套裝等產(chǎn)品測量MTF等產(chǎn)品。

三、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀應(yīng)用領(lǐng)域

紫外光學(xué)測量| 光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測| 自適應(yīng)光學(xué)| 等離子體密度

四、SID4-UV波前分析有/波前傳感器主要規(guī)格

五、與夏克-哈特曼波前傳感器對比

六、更多參數(shù)選型