| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,綜合 |
SDTR熱反射廣域熱物性綜合測試系統(tǒng) AU-TRSD103
面內(nèi)熱導(dǎo)率測試系統(tǒng) AU-TRSD103簡介：
面內(nèi)熱導(dǎo)率測試系統(tǒng) AU-TRSD103 基于“泵浦-探測"原理，結(jié)合了頻域熱反射、空間域熱反射、穩(wěn)態(tài)溫升法、方脈沖熱源法的優(yōu)點，具有強大的熱物性綜合測試能力，能夠測量從薄膜到塊體材料的熱導(dǎo)率、比熱容和界面熱阻。系統(tǒng)自動化程度高，操作簡便，特別利于大批量快速測量。
• 可測參數(shù)多
• 可測范圍廣
• 測量精度高
• 操作簡便
• 支持定制
• 終身技術(shù)支持
SDTR熱反射廣域熱物性綜合測試系統(tǒng) AU-TRSD103基本原理：
基于光學(xué)的交流量熱法
• 樣品表面鍍100 nm厚的金屬膜做溫度傳感層；
• 經(jīng)調(diào)制的泵浦光周期性加熱樣品；
• 探測光測量距離泵浦光不同位置處的溫度響應(yīng)的幅值與相位；
• 由相位差信號和歸一化幅值信號同時擬合樣品面內(nèi)熱導(dǎo)率和光斑尺寸；
• 熱導(dǎo)率測量誤差≤ 5%，光斑尺寸測量誤差≤ 2%。
100 nm Ti/silica：
面內(nèi)熱導(dǎo)率測試系統(tǒng) AU-TRSD103亮點
1. 泵浦與探測光均采用連續(xù)激光，極大地降低了系統(tǒng)成本；
2. 無需修正泵浦光的參考相位，使得操作更簡單，測量更可靠；
3. 采用平衡探測器，極大減小了低頻噪音，加快了數(shù)據(jù)采集速度，完成一個樣品的測量僅需≤ 2分鐘；
4. 數(shù)據(jù)分析方法能同時擬合光斑尺寸，降低了光斑尺寸誤差對測量結(jié)果的影響；
5. 數(shù)據(jù)分析方法使得測量信號僅對待測樣品的面內(nèi)熱導(dǎo)率和比熱容敏感，而無需準確知道金屬傳感層的參數(shù)或樣品的縱向熱導(dǎo)率，因此極大提高了測量精度；
6. 可測的面內(nèi)熱導(dǎo)率范圍不受限制；
7. 采用微米級的光斑尺寸，因此可測徑向尺寸為亞毫米級別的小尺寸樣品。
面內(nèi)熱導(dǎo)率測試系統(tǒng) AU-TRSD103應(yīng)用領(lǐng)域：
①材料研究與開發(fā)
②能源領(lǐng)域
③電子器件研究
……
標配系統(tǒng)測量能力：
1. 無需知道樣品的縱向熱導(dǎo)率，可獨立測量樣品的面內(nèi)各向異性熱導(dǎo)率張量，面內(nèi)熱導(dǎo)率測量范圍0.5 ? 5000 W/(m·K)，測量誤差≤ 5%；
2. 無需知道樣品的比熱容，可獨立測量樣品的平均熱導(dǎo)率
，測量范圍0.05 ? 5000 W/(m·K)，測量誤差≤10%；
3. 對各向同性樣品，可同時測量其熱導(dǎo)率與體積比熱容，熱導(dǎo)率測量范圍0.05 ? 5000 W/(m·K)， 比熱容測量范圍0.1 ? 10 MJ/(m3·K)，測量誤差≤ 10%；
4. 可測薄膜樣品從100 nm到無限厚；
5. 可測小尺寸樣品，徑向直徑≥ 0.05 mm；
6. 要求樣品表面粗糙度≤ 15 nm。
升級系統(tǒng)額外測量能力：
7. 熱導(dǎo)率和比熱容的成像，分辨率達1 μm；
8. 界面熱阻測量
系統(tǒng)基本情況：
1. 系統(tǒng)占光學(xué)桌面積60 cm X 60 cm，封裝于黑匣中，防塵又安全。
2. 自動化實驗測量，全程軟件操作，無需開箱進行復(fù)雜的手動調(diào)節(jié)。
3. 雙色泵浦-探測系統(tǒng)，標配的探測光波長為785 nm。
4. 泵浦光調(diào)制頻率的標配范圍為DC-5 MHz，可升級到50 MHz或150 MHz。
5. 采用平衡光電探測器提高信噪比，加快數(shù)據(jù)采集速度。
6. 自動校準泵浦相位（僅頻域熱反射法需要）和探測光的噪音。
7. ccd顯微成像系統(tǒng)清楚觀察樣品表面和光斑位置。
系統(tǒng)配置：
電源需求：110/220 VAC, 50/60 Hz, 15 Amp
激光波長：泵浦638 nm，探測785 nm（標配，可根據(jù)用戶需求選配）
激光功率：泵浦100 mW，探測20 mW（標配，可根據(jù)用戶需求選配）
調(diào)制頻率范圍：標配DC-5 kHz，可升級到5 MHz、50 MHz或200 MHz
顯微鏡頭：標配10x，對應(yīng)激光光斑1/e2直徑約～15μm，可增配50x，20x，5x，2x鏡頭及自動切換模塊
樣品聚焦：標配手動調(diào)節(jié)，可增配PID反饋調(diào)節(jié)自動聚焦模塊
測溫范圍：標配室溫，可增配80-500 K、300-1200 K、4-300 K等不同溫區(qū)的變溫模塊
熱物性掃描：標配無，可選配，掃描范圍200μm×200μm，步進分辨率1 nm
顯微成像：標配，可觀察樣品表面狀況及激光光斑位置
軟件：全自動數(shù)據(jù)測量與分析處理、數(shù)據(jù)導(dǎo)出、報告生成
測量要求：
首先要確定樣品的金屬傳感層的金屬材料在SDTR的探測光束的波長處有較高的熱反射系數(shù)，對于常見的金屬材料的熱反射系數(shù)見下圖(b)；同時還要考慮傳感層的金屬材料對SDTR泵浦光有較高的吸收系數(shù)(a)。
圖：常見金屬材料對光的吸收系數(shù)(a)和熱反射系數(shù)(b)
對于SDTR的樣品還要保證表面光滑均勻，這樣不僅方便照射至樣品的探測光束能更好地被反射至探測器中，還能使在SDTR同一次測試掃描的空間范圍內(nèi)不會因表面粗糙度的不均勻而帶來較大的數(shù)據(jù)誤差，至少保證在一次的SDTR測試的掃描空間范圍內(nèi)的粗糙度是均勻的；這也限制了樣品的理論尺寸下限，該范圍的大小跟聚焦在樣品處的光斑大小相關(guān)，例如泵浦和探測光斑直徑若為10μm，則該范圍約為直徑100μm的圓形區(qū)域，但為了方便樣品的放置實際測試樣品的大小可根據(jù)需求可更大，但不能小于該尺寸下限。
此外對于樣品的金屬傳感層的熱導(dǎo)率也有要求，如果金屬傳感層具有比樣品層高很多的熱導(dǎo)率，熱量將在傳播到樣品之前就在金屬層的面內(nèi)熱傳導(dǎo)，而不是樣品層。在這種情況下，相位對金屬層面內(nèi)熱導(dǎo)率的敏感度會增加，而對樣品層的面內(nèi)熱導(dǎo)率的敏感度將降低。所以不利于面內(nèi)熱導(dǎo)率的測量，會導(dǎo)致測量結(jié)果與實際的有較大的差異。如果要保證對樣品的面內(nèi)熱導(dǎo)率較高的測量精度（或者較高的敏感性），則建議金屬層的熱導(dǎo)率不高于樣品層的10倍，這限制了對于某一種金屬作為傳感層時能測得的樣品層熱導(dǎo)率下限，比如以Al膜(240W/(K·m))作為傳感層時測試樣品的的熱導(dǎo)率建議不低于24W/(K·m)；如果要測試熱導(dǎo)率低于該值的樣品建議更換較低熱導(dǎo)率的傳感層，并且盡可能保證其他對于樣品傳感層的要求(例如較高的探測光波長熱反射系數(shù)和泵浦光波長的吸收系數(shù)、粗糙度)。
應(yīng)用案例：
光學(xué)交流量熱法測量面內(nèi)熱導(dǎo)率
可測熱導(dǎo)率范圍1~2000 W/(m·K)，誤差均小于5%
以藍寶石、單晶硅為例：
• 測得藍寶石熱導(dǎo)率為
= 38 ± 1.49 W/(m·K)，誤差為3.9%
• 測得單晶硅熱導(dǎo)率為= 147 ± 4.88 W/(m·K)，誤差為3.3%
光學(xué)交流量熱法測量面內(nèi)各向異性熱導(dǎo)率張量
面內(nèi)各向異性材料
以石英晶體為例：
• 光學(xué)交流量熱法不要求激光光斑有嚴格的圓度即能準確測量面內(nèi)熱導(dǎo)率張量，相較于文獻中較新的光斑偏移頻域熱反射法(BO-FDTR)*測量更準確可靠。
*L. Tang and C. Dames, Int. J. Heat Mass Transfer 164, 120600 (2021).
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