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應用領域	環(huán)保,電子	精度	0.01nm或0.01%

膜厚測量儀（測量厚度1nm~1.8mm）MPROBE - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY

美國Semisonsoft公司MProbe系列薄膜測厚儀測量厚度可以低至1nm，厚至1.8mm，埃級分辨率，非接觸式無損快速測量。廣泛應用在各種生產(chǎn)或研究中，比如測量薄膜太陽能電池的CIGS層，觸摸屏中的ITO層等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量

測量原理：當規(guī)定波長范圍的光照射到薄膜上時，從不同界面上反射的光相位不同，從而引起干涉導致強度相長或相消。而這種強度的振蕩是與薄膜的結構相關的。通過對這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關的光學常數(shù)。

比如：

半導體（硅，單晶硅，多晶硅）

半導體化合物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）

微電子機械（MEMS）

氧化物/氮化物

光刻膠

硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）

聚合物涂層（聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺）

高分子聚合物

MProbe膜厚測量儀（測量厚度1nm~1.8mm）操作簡單，只需一鍵操作即可獲得樣品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息，膜厚測量設備可支持不同光譜范圍，光譜范圍可達200-1700nm，因此可測量厚度范圍可從1nm到2mm。設備中無移動組件，所以測量結果幾乎是即時得到的；TFCompanion測量軟件使得測量過程非常簡單且透明，測量歷史、動態(tài)測量、模擬、顏色分析、直接在樣品圖像上顯示結果。

膜厚測量儀分類：

1、單點膜厚測量——MPROBE-20

MPROBE-20膜厚測量儀是一款臺式單點膜厚測量設備，設備操作簡單，一鍵獲得樣品的厚度和折射率，并可提供不同波段范圍（適用于不同厚度薄膜）選擇。MPROBE-20具有以下幾種型號，客戶可根據(jù)自己所需的波長范圍和薄膜厚度進行選擇。

可供選擇型號：

型號	波長范圍	核心配置	厚度范圍
VIS	200nm -1100nm	F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos, 16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp	10nm – 75 μm
UVVISSR	700nm -1100nm	F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp	1nm -75μm
VIS-HR	900nm-1700nm	F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp	1μm-400μm
NIR	200nm-800nm	F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp	50nm – 85μm
UVVisF	200nm -1700nm	F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp	1nm – 5μm
UVVISNIR	1500nm-1550nm	F4 Spectrometer, 2048pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp	1nm -75μm
NIRHR	200nm -1100nm	F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption	10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)

2、單點手持膜厚測量——MPROBE HC

MPROBE HC膜厚測量儀是一款基于MPROBE-20平臺開發(fā)專用于測量曲面和大型零件上的涂層，用手動探針代替樣品臺。

主要參數(shù)：

精度	0.01nm或0.01%
準確度	0.2%或1nm
穩(wěn)定性	0.02nm或0.03%
聚焦點尺寸	0.2mm或0.4mm
樣品尺寸	>25mm
厚度范圍	0.05-70um

3、聚焦光斑膜厚測量儀——MPROBE 40

MPROBE 40是一款聚焦的小光斑膜厚測量系統(tǒng)，該產(chǎn)品將顯微系統(tǒng)和膜厚測量設備結合起來，用于對膜厚的微區(qū)測量，光斑可達2μm。該設備集成相機和軟件，可精確顯示待測位置，并同時顯示測量結果。

該設備有不同波長范圍可選，可供選擇的產(chǎn)品型號如下：

4、原位測量膜厚測量儀——MPROBE 50 INSITU

MPROBE 50 INSITU是一款支持原位測量膜厚測量儀，該設備采用門控數(shù)據(jù)采集方式因此可以在高環(huán)境光的條件下工作。此外該型號膜厚測量儀支持定制以滿足不同形狀的真空腔。根據(jù)可用的光學窗口，支持斜入射和垂直入射。光線可以聚焦樣品表面或準直,探測探頭可以放置在沉積室光學端口內(nèi)部或外部，由于該膜厚測量儀沒有移動部件，通常測量時間約10ms。